維修美國VIEW 全自動影像儀

MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù)：

◆    測量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆    視場內(nèi)測量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆    視場內(nèi)測量范圍：0.5um~400um；
◆    視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)；
                                                    掩模板上0.005um(1δ)；   
◆    承重：2kg
◆    標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X 
MicroLine 系列 主要用于測量半導(dǎo)體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對接誤差等)量測。
MicroLine 臨界尺寸測量系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。
MicroLine 裝備有高性能光學(xué)顯微鏡，高精度運(yùn)動平臺，可測量0.5 微米到400 微米大小的產(chǎn)品，測量精度和重復(fù)性在10nm （1  σ ，100倍物鏡）。
 

蘇州海納機(jī)電——維修業(yè)務(wù)簡介

????? 蘇州海納機(jī)電“測試儀器維修檢測中心”，中心各類測試儀器維修檢測設(shè)備配置齊全。蘇州海納機(jī)電能維修各種進(jìn)口的分析儀表，尤其對化學(xué)分析儀器具有豐富的維修經(jīng)驗(yàn)。蘇州海納機(jī)電與各大測試儀器廠商有著良好的業(yè)務(wù)往來，有著充足的原廠儀器配件。蘇州海納機(jī)電擁有多名具有豐富維修經(jīng)驗(yàn)、職業(yè)道德良好的專業(yè)維修工程師，承接各類進(jìn)口測試儀器的維修及保養(yǎng)業(yè)務(wù)。蘇州海納機(jī)電提供一站式mro服務(wù)，不管是產(chǎn)品銷售還是維修服務(wù)，我們都會本著“服務(wù)*一”的原則，為客戶提供優(yōu)質(zhì)、快捷、熱情的服務(wù)。以“保證質(zhì)量、講究效率、價格合理”的服務(wù)原則，積累了廣大客戶的贊譽(yù)和信任，歡迎更多用戶與我們達(dá)成儀器維修與保養(yǎng)的長期合作協(xié)議，我們將為您提供快捷、高效、實(shí)惠的儀器維修服務(wù)。